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台積電攜手供應商優化製氫流程 助供應商減碳3.8萬噸

鉅亨網記者魏志豪 台北
台積電示意圖。(鉅亨網資料照)
台積電示意圖。(鉅亨網資料照)

台積電 (2330-TW)(TSM-US) 今 (28) 日更新 ESG 電子報,指出因應先進製程演進使氫氣需求量增加,為擴大供應鏈原物料管理中的碳捕捉機會點,鼓勵供應商將天然氣產製為氫氣過程排出的二氧化碳回收,再製為電子級液態二氧化碳回用公司。

台積電補充,截至民國 113 年 6 月,回用公司的電子級液態二氧化碳逾 3 萬 5,000 公噸,供應商使用碳中和天然氣年減碳 3 萬 8,000 公噸,年省氫氣槽車運輸量逾 5,200 台、約 5 萬公里路程,相當於繞行台灣超過 50 圈,落實產業共好。

台積電指出,打造綠色低碳供應鏈是台積公司實踐永續發展的關鍵之一,除推動供應商改造精餾塔管路將被分離的二氧化碳導回塔內再純化,因應先進製程演進使氫氣需求量增加,也鼓勵供應商將天然氣產製為氫氣過程排出的二氧化碳回收,再製為電子級液態二氧化碳回用。

同時,台積電協助供應商採購碳中和天然氣,並導入地下管線直供氫氣予公司南科廠區,為全台科學園區首件氫氣地管成功案例,提升供應商低碳轉型能力。

台積電說,氫氣是半導體先進製程的重要化學品,一般以蒸汽甲烷重整(Steam Methane Reforming, SMR)技術將天然氣脫硫後與去礦物質水蒸氣進行反應重組,再經一氧化碳高溫轉化器生成電子級氫氣,並連帶產出二氧化碳。

為促進環境永續及提升二氧化碳使用效率,台積電自民國 110 年攜手供應商於製氫廠設置二氧化碳回收純化系統,將其再製為電子級液態二氧化碳,同時與各廠區溝通製程變更、安排入廠驗證品質,確認回用的電子級液態二氧化碳達到廠內製程使用規格,確保後續生產品質符合標準。

除再製並回用電子級液態二氧化碳,台積電推動供應商採購碳中和天然氣,減少製氫過程的碳排放,且考量製程所需氫氣用量增加,為加速運輸效率與安全性,民國 108 年與供應商、南部科學園區管理局合作於晶圓十八 A 廠建置氫氣地管,並成為公司新建廠區標準設計,不僅節省供應商槽車換車人力及運輸量,也提升氫氣供應穩定度,達成雙贏。

深化供應鏈永續性是台積電發展 ESG 的重要一環,除增加回用電子級液態二氧化碳外,台積電將持續推廣供應商使用碳中和天然氣,並預計於民國 113 年 10 月、民國 114 年 1 月分別完成晶圓十八 B 廠、晶圓二十二廠氫氣地管建置,年省槽車運輸量逾 1 萬 5,000 台,一同朝半導體淨零供應鏈目標全力邁進。

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