隨著台積電 (2330-TW)3 奈米即將進入量產，且首年月產能上看 10 萬片，相關耗材供應鏈皆可望同步受惠，市場看好，鑽石碟中砂 (1560-TW)、靶材光洋科 (1785-TW)、EUV 光罩盒家登 (3680-TW)、晶圓真空吸盤的意德士 (7556-TW) 等產品因與生產製程直接相關，營運可望吞補丸。

業界看好，儘管台積電今年量產 3 奈米的進度較過往慢，不過首年量產片數較過往多，加上此次罕見在南科、竹科兩地進行大規模量產，由於所有生產設備、光罩及耗材都需備齊兩套以上，也帶動製程材料、零組件需求大爆發。

中砂為台積電鑽石碟長期供應商，先前透過與客戶共同研發，在 3 奈米世代一舉躍居主力供應商，且新世代產品較前一代單價提升 2-3 成，隨著台積電上半年逐步拉升產能，中砂出貨量也逐步放大，預期鑽石碟將是今年成長幅度最大的產品線。

光洋科則取代美、日大廠，成為台積電 3 奈米靶材供應商，去年已建立大型靶材塑型成形中心，並用於生產 18 吋的大型靶材，規劃三階段擴產，有助今年半導體工繳呈現逾倍數增長。

另外，隨著台積電 3 奈米開案量增加，對光罩套數的需求也跟著提升，光罩因與光罩盒呈現高度連動，家登去年同樣積極擴產，備妥產能滿足台積電訂單，預期今年出貨量可望大躍進。

意德士則是前段製程零組件供應商，主要提供真空吸盤曝光載台，搭載在 EUV 設備上，由於現今隨著製程推進至 3 奈米、甚至 2 奈米，晶圓薄度越來越薄，真空吸盤扮演提高良率的要角，意德士也可望跟著台積電一同成長。