據外媒報導，美國官員正遊說 ASML 禁止向中國出售成熟製程晶片生產所需的深紫外光 (DUV) 微影設備，業界指出，微影設備是中國最難取得替代的設備，供應受阻下，中芯擴產腳步也將因此放緩，新產能要照原訂目標開出難度升高，有利台晶圓代工廠，也有助緩解 2023 年後成熟製程恐供過於求的疑慮。

包含聯電 (2303-TW)(UMC-US)、力積電 (6770-TW)、世界先進 (5347-TW) 等晶圓代工廠，都可望因此受惠。

外媒指出，知情人士透露，美國商務部副部長 Don Graves  5 月下旬與 6 月初訪問荷蘭及比利時，討論供應鏈問題，會見 ASML 執行長 Peter Wennink，並遊說 ASML 禁止向中國出售較舊的極紫外光 (EUV) 微影設備、或深紫外光 (DUV) 設備。

基於與美國政府達成的協議，2019 年以來，荷蘭政府已禁止 ASML 向中國製造商出售最先進的 EUV 設備，但仍可向中國客戶出貨 DUV 設備；若此次荷蘭方面同意美國政府遊說，銷售禁令範圍、類別將擴大，對中芯、華虹半導體等中國晶圓代工廠，無疑是一記重擊。

中芯目前在北京、上海、深圳三地啟動投資建廠計畫，要興建多座 28 奈米廠及更成熟製程的 12 吋晶圓廠，其中上海臨港新廠今年初已動工，北京、深圳則穩步推進，預計今年底前投產。

若 ASML 不再出貨 DUV 設備給中國晶圓代工廠，中芯擴產計畫勢必延宕，28 奈米及更成熟製程供過於求情況，也有機會稍微緩解。