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繞開歐美專利技術封鎖？中國科學院研發新的DUV光源技術 理論上可支援3奈米節點
03/25
中國科學院
CAS
艾司摩爾
3奈米
DUV
深紫外光
光刻機
中國營收占比36.1%！艾司摩爾今年將升級北京維修中心
03/06
半導體
艾司摩爾
DUV
EUV
光刻機
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