破解半導體20年魔咒!中國西安電子科技大學打造原子級「散熱高速公路」

在追求半導體效能極限的道路上,「熱」始終是看不見卻最致命的瓶頸。如何將不同半導體材料高效整合,讓它們在高溫高壓下仍穩定協作,是困擾學界與產業界近二十年的難題。
中國西安電子科技大學周弘教授表示,這是讓新材料「聽話」長在一起的挑戰。如今,由郝躍院士與張進成教授領銜的西電科研團隊,在這一核心領域取得歷史性突破,成功將混亂的界面轉化為原子級平整的單晶薄膜,為晶片內部構建起「散熱高速公路」。
上述成果接連登上國際頂尖期刊《自然 · 通訊》(Nature Communications)與《科學 · 進展》(Science Advances),後者更將其選為封面論文,標誌著中國在半導體基礎工藝領域實現從「跟跑」到「領先」的關鍵跨越。
長久以來,以氮化鎵和氧化鎵為代表的先進半導體需藉氮化鋁作緩衝層,與矽或碳化矽基板結合,但傳統製程使氮化鋁生成多晶「島狀」結構,造成熱量在界面「堵車」,裝置易過熱失效。
雖然自 2014 年相關成核機制獲諾貝爾獎後全球持續優化,但「熱障」問題始終無解,嚴重限制高功率射頻晶片、5G 基地台及衛星通訊發展。
西電團隊跳出局部修補思路,首創「離子注入誘導成核」技術,透過在基板精準植入成核點,引導原子有序生長,將界面從「亂石堆」變為連續緻密的單晶薄膜,宛如鋪設一條原子級「坦途」。
實測數據顯示,新結構熱阻降至傳統三分之一,氮化鎵微波功率元件在 X 與 Ka 波段的輸出功率密度分別達 42 W/mm 與 20 W/mm,提升 30% 至 40%,創近 20 年最大躍升幅度,這意味著雷達探測更遠、5G 覆蓋更廣、能耗更低,手機訊號、電動車電控與衛星設備也將受益。
更重要的是,該技術將氮化鋁從「專用膠水」升級為通用平台,為多種半導體提供高品質異質整合方案,堪稱新的「材料融合協議」。團隊也打算以導熱更佳的鑽石取代中間層,進一步釋放裝置潛能。
從 1990 年代末期起步到今日突破,這場跨越二十年的科學研究長跑彰顯坐冷板凳的定力。當未來高原視訊暢通、沙漠自駕穩健、海島聯網高速,背後都可能流淌著源自中國實驗室的原子級「散熱之道」,而這場薄膜革命,才剛啟程。