台積電 (2330-TW)(TSM-US) 秉持綠色製造理念，積極挖掘節能減碳機會點，今 (30) 日表示，公司針對無塵室內輸送空氣的風機過濾組 (Fan Filter Unit, FFU)，攜手供應商在不改變尺寸及運轉需求的前提下，成功優化風機結構，將運轉效率由 55% 提升至 60% 以上。

台積電指出，透過提升風機運轉效率，實測單一廠區平均年省 156 萬度電、減少 805 公噸二氧化碳當量；今年 9 月該技術已導入晶圓二十廠第 1 期與第 2 期廠區、晶圓二十二廠第 1 期與第 2 期廠區、先進封測七廠第 1 期廠區，共計約 4 萬 4,000 台，持續實踐綠色創新。

晶圓廠房內的無塵室需保持極高的空氣潔淨度，風機過濾組能有效過濾空氣中的微小顆粒，維護製程環境品質。為精進運轉效能，台積電優化風機過濾組的設計，將直流無刷馬達的結構由內轉式改為外轉式，以增強轉軸的力矩，確保風機運作所需的高扭矩性能。

同時，將扇葉直徑從 400 公厘延伸至 448 公厘，增加出風截面積，強化氣流的穩定性。此外，結合渦殼風道流場模擬，有效減少擾流、提高出風量，進一步提升空氣循環效率並降低能耗。

台積電持續擴大節能範疇，除改善風機輸送效能外，亦評估膜板加濕器及空氣濾網的設計與材質改進方案，以測試其節能減碳的可行性；透過確保製程穩定的同時，全面提升空調系統的能源使用效率，實現綠色製造的永續目標。