蔚華科攜手南方科技 搶攻SiC基板檢測商機

半導體測試解決方案廠蔚華科 (3055-TW) 今 (28) 日攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出 JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體商機，目前已有 8-10 家潛在客戶測試中，董事長秦家騏看好將「全壘打」，未來也會與南方科技共同加速矽光子等先進光學檢測技術商業化。

秦家騏透露，目前潛在客戶包括台灣、中國、歐洲等，美國很快也會加入，目標今年拿下訂單，看好將是很有機會成功、會全壘打的產品應用。

蔚華科總經理楊燿州表示，近幾年大環境改變，考量經銷代理業務的不確定性，並追求更好的獲利結構，將發展重心轉往自有產品開發，並透過併購南方科技，跨足光學檢測領域，第一步鎖定化合物半導體材料缺陷檢測，隨著 SiC 基板需求大增，未來幾年業績與獲利可望顯著提升。

楊燿州指出，除將非線性光學技術應用在 JadeSiC-NK 外，未來也將加速南方科技在 MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續整合集團資源、擴大研發能量。

化合物半導體基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但 SiC 長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的 KOH 蝕刻方式抽樣檢測，使 SiC 晶片成本居高不下。

JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統採先進非線性光學技術，對碳化矽 (SiC) 基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，以取代現行高成本的破壞性 KOH(氫氧化鉀) 蝕刻檢測方式，可提升產量並有助改善製程。

南方科技總經理王嘉業表示，以每個長晶爐月產 4 個 SiC 晶錠為例，採 JadeSiC-NK 後，每個晶錠可省下 2 片基板成本，以每片 6 吋基板 800 美元計價，一個長晶爐每年估可省下新台幣 250 萬元因蝕刻而損耗的成本。