〈2022半導體展〉信紘科推綠色製程解決方案 導入晶圓廠

信紘科 (6667-TW) 今 (14) 日出席 SEMICON 展覽，會中展出綠色製程解決方案「廢有機溶劑去除雙氧水」，可將晶圓廠生產過程的廢液再次純化為化學品，進入廠區使用，也滿足客戶衝刺 ESG 永續經營的目標。

信紘科表示，公司長期著墨綠色製程解決方案，已有多項設備與系統服務，其中，半導體製程廢有機溶劑去除雙氧水獲得政府單位技術佐證，為目前台灣唯一可安全去除雙氧水，且不破壞溶劑基質的解決方案。

信紘科補充，多數晶圓廠受限溫度、壓力、佔地等條件，在廠區內建置處理系統相當困難，且由於廢液含高濃度雙氧水，清運過程容易造成氣爆風險，也需負擔高昂清運費用，現階段採廢棄物焚化所產生的二氧化碳，也會造成環境負擔。

因此開發廢有機溶劑去除雙氧水技術，利用精密儀器設備進行定性及定量分析，選擇適當的高級氧化反應法，再加入專利配方藥劑進行廢液處理，不僅每年可為客戶節省 10% 的清運處理費用，也可減少 3000 噸的二氧化碳排放。

因基質保持完整，處理後的廢液符合工業級標準提供相關產業使用，甚至可進一步純化為電子及化學品回到廠區再次使用，協助客戶達到廢液活化再利用，創造循環經濟，邁向淨零、ESG 永續發展的目標。

展望下半年，信紘科看好，受惠晶圓廠全力趕工新廠建置及產能擴充，大型統包訂單需求增加，加上拆移機及二次配業務延伸至氣體領域，還有綠色製程解決方案也已進入個案審查階段，目前在手訂單持續創高，預期營運維持成長。