晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 致力精進能源使用效率，改裝無塵室外氣空調箱，研發濕膜板強化洗滌效果，列為新建廠標準設計，截至今年 5 月共導入 413 台新設外氣空調箱、節電 1 億 4900 萬度。

台積電繼改造測試機台節省壓縮乾燥空氣 (CDA) 用量同步達到省電效果後，進一步針對無塵室中的外氣空調箱 ( MAU) 洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，截至 5 月，共完成既有廠區 266 台外氣空調箱濕模板改裝。

台積電指出，傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞媒介，水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒，進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物，以維持無塵室的進氣品質。

台積電說明，因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量 20%。

為提高能源使用效率，台積電攜手供應商共同研發濕膜板，藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜，以提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積，使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物，強化洗滌效果，且水泵馬力變小，可減少 80% 用電量。

台積電預計今年底既有廠區累計完成 316 台外氣空調箱改裝，增加節電 1100 萬度，新建廠區則持續進行新機導入行動，實踐綠色製造承諾。