循環經濟最後拼圖 台積電零廢製造中心將擴至竹科與南科
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晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 廠務處副處長丁瑞華今 (7) 日在 SEMICON Taiwan 論壇上表示,今年已在中科動工興建首座零廢製造中心,並會逐步拓展至新竹與台南廠區,零廢製造中心將是台積電循環經濟的最後一塊拼圖。
SEMICON Taiwan 國際半導體展 ESG 暨永續製造高峰線上論壇,今日邁入第二天,丁瑞華以「邁向永續的未來 - 零廢製造中心」為題演講。
丁瑞華指出,除矽晶圓外,半導體產業原材料還包括許多化學品與氣體,台積電 95% 的原材料是液態化學品,82% 廢棄物是水溶液。
丁瑞華表示,隨著先進製程發展、製程複雜度及產能提升,台積電原材料使用量增加,所產生的廢棄物也隨之增加,假如未採取任何減廢行動,到 2030 年,台積電每單位 12 吋晶圓當量 - 光罩數所產生的廢棄物將達到 3.09 公斤。
丁瑞華說明,台積電廢棄物管理策略包括減少原物料減量專案、擴增廠內資源再生設備、建立零廢製造中心、委外回收等四大面向,目標 2030 年 12 吋晶圓當量 - 光罩數委外廢棄物處理量低於 0.5 公斤。
台積電除發展廢棄資源再生活化技術,去年更啟動第一座「零廢製造中心」計畫,目標將廢棄資源純化為半導體等級化學品,重回製程使用,預期取代至少 30% 原物料開採需求。
丁瑞華表示,今年已在中科動工興建首座零廢製造中心,預計每年減少 14 萬公噸廢棄物委外處理量、創造新台幣 12 億元回收減廢效益,將成為台積電第一座循環經濟示範中心。