2025 灣區半導體產業生態博覽會（下稱灣芯展）周三 (15 日) 在深圳開幕，現場匯聚半導體全產業鏈龍頭企業，從設備、材料到終端應用，展現行業先進技術與生態活力。

值得關注的是，市場矚目的新凱來旗下子公司雖未推新品，仍以此前引發關注的 16 款「中國名山」命名設備 (涵蓋刻蝕、薄膜、量檢測等) 吸引觀眾駐足，而一條走道之隔的芯上微裝則以「隱形黑馬」之姿成為業內討論焦點。

成立不到 8 個月的芯上微裝的核心團隊及技術資產來自上海微電子集團，今年剛分拆獨立。根據該公司工作人員介紹，芯上微裝定位為「快速市場化設備供應商」，上海微電則專注前道核心設備研發。

目前，芯上微裝的股東包括員工持股 (佔比 24%) 及上海信投、張江浩成、中信金石等多家國資背景機構。

展會上，芯上微裝以宣傳資料形式展示新型化合物半導體光刻機、晶圓先進封裝光刻機等產品，其中先進封裝光刻機可應用於 AI 及高端芯片封裝，支持大翹曲襯底，已導入國內主流封測廠，市場積累深厚。

芯源微在遭北方華創購併後，本次展會以集團成員身份亮相，重點展示 8-12 吋集成電路前道涂膠顯影設備、化學清洗方案，以及先進封裝領域 6-12 吋設備。

拓荊科技則帶來晶圓對晶圓混合鍵合設備與 12 等離子體增強化學氣相沉積設備，前者已實現產業化應用，出貨至先進存儲、邏輯晶片等客戶，未來將擴大產能。

半導體設備核心零組件廠商富創精密 (688409-CN) ，則在展會上秀出勻氣盤、加熱盤等耗材，其中加熱盤溫度均勻性達 ±0.5% 以內，性能不輸海外龍頭，其中勻氣盤已量產 300 餘款，覆蓋多氣路水路解決方案。

材料方面，滬矽產業 (688126-CN) 展現「一站式矽材料服務」能力，產品涵蓋 12 吋至 8 吋拋光片、SOI 片等，應用於邏輯、存儲等多領域，子公司新傲科技與 Okmetic 200mm 及以下 SOI 矽片月產超 6.5 萬片，整體規劃產能將達到每月 120 萬片。

中欣晶圓更將 420 公斤、長 2.3 公尺的半導體級矽單晶棒搬上展台，切割後出片率約 2000 片，良率 85%，年底規劃產能每月 45 萬片。

製造環節，華潤微重點介紹深圳 12 吋晶圓項目，該項目 2024 年底通線，一期投資 220 億元，覆蓋 40/55/90 奈米製程，應用於新能源、汽車電子等領域。

首次參展的華虹集團 (01347-HK) 則展示上海華力 12 吋晶圓，其 28 奈米製程可用於藍牙、Wi-Fi 等晶片。

下游終端應用方面，光峰科技展出 LCoS AR 光機「蜻蜓 G1」與「彩虹 C1」，其中「蜻蜓 G1」採用單光機驅動雙目顯示架構，單目分辨率 640x200，視場角 25 度，虛像距約 5 公尺，已與中國與海外主流 AR 眼鏡品牌完成光機對接。

從設備、材料到製造、應用，今年灣芯展不僅呈現半導體產業鏈的技術突破，更折射出行業在分化中尋求協同、在創新中築牢根基的態勢。