科技民主與社會研究中心（DSET） 與環境權利保障基金會（ERF）今 (20) 日發表共同「台灣半導體產業的水資源與電力使用分析報告」，報告中強調，製程用電僅佔全廠耗電約 46.1%，另外超過 5 成的能源消耗則是來自無塵室、外氣空調、冷卻系統、超純水供應系統等設備；空調更是最大的單一用電項目。

該報告顯示，台灣目前並沒有缺電疑慮，但因高度仰賴區域之間的資源調度能力，需強化輸電節點的韌性，並將極端氣候事件的影響納入事前評估，才能確保產業用電安全。

目前對半導體先進製程的高耗能討論，集中在極紫外光微影設備的使用。本報告指出，總體而言製程用電僅佔全廠耗電約 46.1%，另外超過五成的能源消耗則是來自無塵室、外氣空調、冷卻系統、超等設備構成；其中，空調系統更是最大的單一用電項目。

根據本研究報告以過去一年（2023 年 11 月 1 日至 2024 年 10 月 31 日）逐日夜尖峰時段用電利用率最高的時間點，選取該時刻實際最大電力供給量與實際用電量的資料作為基線，推估未來 2025 至 2035 年間，若考慮經濟部能源署所評估之電力需求年均成長率，以及加上目前已知 2 奈米先進製程廠的最高用電量（約 1.928GW），對台電系統在面對未來每天的夜尖峰使用狀況，其供電能力會受到什麼樣的衝擊。

DSET 報告建議，政府可將儲能投資列產業創新補助行列，整合半導體產業對於供電風險趨避的資本投入，提升儲能技術投資的經濟誘因。

此外，再生水與再生能源的開發將與地方政府權責更加相關，如再生水水源取決於各縣市污水接管率，而污水下水道系統屬地方政府權責；再生能源也仰賴縣市國土空間規劃，地方政府應透過擴充再生水與再生能源建置量來吸引廠商投資，以因應將來氣候變遷與區域競爭趨勢。

台積電 (2330-TW) (TSM-US) 承諾於 2040 年 100% 使用再生能源並達成水資源目標，但再生資源供應有限，可能造成其他需求者資源排擠，該報告建議：透過調整傳統高碳排產業規模並引導產業轉型，協助與鼓勵產業端的永續發展作為，進而增強台灣基礎設施韌性。