外媒報導，晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 發展先進製程，採用 EUV 設備耗電量龐大，對此，台積電今 (26) 日回應，已訂定全球營運 100% 使用再生能源、2050 年淨零排放目標，並引述工研院模型推導分析結果指出，台積電每使用 1 度生產用電，能為全球減省 4 度電。

據彭博商業周刊報導，艾司摩爾最先進的極紫外光微影設備 (EUV)，每台估耗電約 1MW，大約是前幾代設備的 10 倍以上，台積電目前擁有超過 80 台 EUV，且還在安裝新一代設備，預計 2025 年耗電量將占全台整體能源消耗的 12.5%，較 2020 年的約 6% 大幅成長。

對此，台積電回應，公司持續推進半導體高階製程技術，生產更先進、更具能源效率及更環保的產品，且據 2020 年工研院產業科技國際策略發展所模型推導分析結果，公司每使用 1 度生產用電，能為全球減省 4 度電。

台積電表示，除積極協助生產低耗能、高效率產品，公司也積極投入綠色製造，落實節能減碳，包括致力優化製程能源使用效率，和機台設備商合作開發新的節能行動方案。2021 年，累計超過 159 項節能方案通過驗證並導入新建廠區，持續邁向 2030 年平均機台設備節能效益 20% 的永續目標。

此外，台積電積極尋找節能機會，2021 年執行八大類共 499 項電力節能措施，新增年節電量 7 億度，相當於減少 35 萬公噸二氧化碳排放。

台積電也重申，公司已訂定全球營運 100% 使用再生能源，及 2050 年淨零排放目標，透過積極洽購再生能源，盼以實際行動支持再生能源產業及相關技術在台灣蓬勃發展，並帶動產業採用效應承諾。