在遭到列入美國黑名單前曾是台積電五奈米蝕刻設備供應商之一，中國半導體設備龍頭中微公司在週四 (28 日) 凌晨於科創板公布第一季季報，營收人民幣 6.03 億元，年增 46.24%；純益人民幣 1.38 億元，年增 425.36%。今日開盤中微股價上漲逾 2%，每股暫報人民幣 115.49 元。

2021 第一季財報摘要：

• 營收人民幣 6.03 億元，年增 46.24%。
• 純益人民幣 1.38 億元，年增 425.36%。
• EPS 人民幣 0.26 元，去年同期人民幣 0.05 元。
• 研發投入占營收比重 23.3%，較去年同期上升 5.8 個百分點。

中微表示營收大幅成長主要受惠於市場行情及產品的競爭優勢，蝕刻設備和 MOCVD 設備收入分別為人民幣 3.48 億元和人民幣 1.33 億元，較去年同期分別成長 63.75% 和 76.85%。另一方面，毛利率提升至 40.92%，以金額來看毛利較去年同期增加約人民幣 1 億元。

中微公司董事長尹志堯曾在年報會議上提到中微等離子體蝕刻設備，已應用在國際一線客戶從 65 奈米到 5 奈米及其他先進 IC 加工製造生產線和先進封裝生產線。

另一方面，中微 MOCVD 設備已在相關產業大廠的生產線上大規模投入量產，成為世界排名領先的氮化鎵基 LED 設備製造商，在 2018 年下半年銷售量比重已達到 60% 以上。

他表示 2019 年到 2020 年由於照明等 LED 市場飽和，近期 MOCVD 市場處於低潮，但是功率組件、深紫外 LED 殺菌，特別是 Mini LED 背光源和面板及 Micro LED 的發展，會使 MOCVD 設備市場在未來形成新的發展浪潮。預計 2020 年到 2025 年，全球化合物半導體 MOCVD 外延設備會有較快的成長。