台積電 (2330-TW) 今 (25) 日指出，強化版 5 奈米製程明年將進入量產，相較先前預計量產時程快，市場看好，隨著 EUV(極紫外光) 微影技術加速導入各製程，有利供應商翔名 (8091-TW)、家登 (3680-TW) 與公準 (3178-TW) 等營運。

晶圓代工龍頭台積電今日舉行技術論壇，會中表示，已加速 5 奈米量產，並廣泛採用 EUV 微影技術，預計強化版 5 奈米速度將再提升 5%、功率提升 10%，並在 2021 年進入量產，成為繼 7 奈米後，第二個進入量產的 EUV 製程。

台積電 EUV 供應商包括翔名、家登等，公準為 EUV 設備商 ASML 的供應鏈成員，其中，翔名近期以獨家鍍鎳技術切入台積電 5 奈米極紫外光光罩盒的表面處理，可望藉由該技術改善落塵造成的汙染現象，目前已取得驗證，可望進一步取得訂單。

家登則為台積電光罩盒的主力供應商，去年隨著 7 奈米 EUV 光罩盒出貨暢旺，營運轉虧為盈，今年也擴建 EUV 光罩盒產線，產能可望提升 4 倍，滿足未來製程所需，法人看好，家登今年營收、獲利皆可創高。

公準則為 ASML 的 EUV 設備零組件供應商，今年也新增超過 50 樣零組件，推升上半年營收達 7.92 億元，年增近 3 成，未來隨著台積電擴大購入 ASML EUV 機台，公準也將同步受惠。

此外，由於 ASML 將部分產線轉移至台灣，公準也已與 ASML 深化合作，可望取得新世代機台訂單，挹注後市營運。