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台積電開發全球首創晶圓倉儲自動化搬運系統 5奈米廠率先啟用

鉅亨網記者林薏茹 台北
台積電14B廠也將陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統。(圖：取材自台積電官網)
台積電14B廠也將陸續導入晶圓倉儲自動化搬運系統。(圖：取材自台積電官網)
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台積電自動化晶圓倉儲搬運

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