在晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 今年度供應鏈管理論壇上，有別於以往都由外商獲獎，此次在優良供應商名單中，出現 3 家台廠身影，台特化便是其中之一，而其背後第一大股東，其實是太陽能廠中美晶 (5483-TW)；身為半導體特殊氣體供應商的台特化，台特化生產的矽乙烷及矽丙烷擁有何種優勢、利基，讓中美晶因此搶進佈局半導體上游材料領域，甚至打入台積電供應鏈首年，就獲選優良供應商？

特殊氣體為半導體製程的血液

在半導體製程中使用的氣體，可分為常用氣體與特殊氣體，常用氣體泛指集中供給、用量非常多的氣體，如氮氣 (N2)、氫氣 (H2)、氧氣 (O2)、氬氣 (Ar)、氦氣 (He) 等；特殊氣體則是指在半導體製程中，如磊晶、微影、擴散、摻雜、清洗、蝕刻、離子植入、化學氣相沉積所使用的氣體，如高純度矽甲烷 (Silane)、磷化氫 (PH3)、砷化氫 (AsH3)、三氟化氮 (NF3)、四氟化碳 (CF4) 等。

電子特殊氣體是半導體製程的關鍵材料之一，在不同製程環節上，所使用的特殊氣體也不盡相同，生產不同元件時，所需要的氣體化學配方、溫度等參數，也有所差異；只要其中某種特定的雜質超標，將嚴重影響製造的晶片品質。

隨著半導體製程朝更先進的 10 奈米以下節點推進，生產製造過程越趨嚴謹，在晶圓製造上，所使用的特殊氣體純化與否，對先進節點的量產速度與良率表現來說，至關重要。

在奈米級元件的電路接觸點，已逐步微縮至僅幾個原子的大小之下，對特殊氣體純度的要求，相當於 5000 公升的水中，不能出現 1 滴水的雜質，製程中使用的原料必須純淨無雜質，才能避免在晶片電路連結時，發生錯誤。

擁多重優勢 矽乙烷、矽丙烷成半導體先進製程關鍵材料

台特化成立於 2013 年，原先接收生產太陽能材料的科冠公司設備，在昇陽科 (現併入聯合再生) 、帆宣 (6196-TW) 等六大公司注資下，由太陽能材料，轉向生產半導體先進製程所需化學品與氣體。

經過多年練兵，台特化開發出高純度矽乙烷 (Disilane) 生產技術，並於 2017 年完成矽乙烷年產能 40 噸、矽丙烷 (Trisilane) 年產能 4 噸建廠作業，產出完全符合、甚至高於國際標準規格的矽乙烷及矽丙烷，成為繼美商 Voltaix 及日商三井化學後，全球第三家高純度矽乙烷及第二家高純度矽丙烷供應商，也是台灣唯一生產矽乙烷及矽丙烷的廠商。

矽乙烷主要用於半導體沉積薄膜的製程中，相較於目前所用的矽甲烷，矽乙烷擁有更高薄膜的緻密度，可大幅提升及改善沉積薄膜的平滑性、連續性、良好摻雜兼容性，並具備低沉積溫度的優勢，可提供約 10 倍成膜速率，大幅提高生產效率，用於 14 奈米以下先進製程、3D NAND 晶片、DRAM、高階顯示屏等電子級半導體製程。

而矽丙烷則是包括薄膜緻密度、沉積薄膜的平滑性、連續性、及摻雜兼容性等效能，均較矽乙烷高出約 10 倍以上。

相中台特化發展潛力 大立光也欲入股

隨著半導體先進製程節點，推進至 10 奈米以下，為因應矽晶圓更薄、及 3D 空間線路設計，達到製程散熱、線路均勻分布，以提升製程良率，使矽乙烷與矽丙烷成為台灣半導體先進製程供應鏈，不可或缺的關鍵材料之一，在半導體高階製程推進下，需求量將持續成長，也因此被中美晶總經理、同時也是台特化董事長的徐秀蘭，譽為「明日事業」。

中美晶相中台特化發展潛力，看好可望與旗下環球晶 (6488-TW) 形成互補，且環球晶在國際半導體業的長期合作網絡，有助台特化快速進入產業供應鏈，因此加快入股腳步，成為大立光規劃投資台特化過程中，半路殺出的程咬金，中美晶取得 30.93% 股權，一躍成最大股東。

隨著半導體製程朝更先進節點推進，製程中使用的電子特殊氣體，在先進製程良率表現上，扮演更關鍵角色，而台特化成軍僅 6 年，就挾著堅強的技術實力打進台積電供應鏈，並在供貨首年就獲選優良供應商；不難想見，未來在台積電 5 奈米、甚至 5 奈米以下先進製程量產過程中，台特化將扮演相當重要的角色，也可望接棒環球晶，成為中美晶旗下重要的金雞母。